恭賀本系許棟樑教授所指導的大四專題生-張心恆同學,榮獲2013半導體光電製程設備零組件與系統設計專題競賽  大學部 專題第一名

題目:

晶圓破片避免機構: 離心真空裝置 創新之雛形實做
Wafer Breakage Avoidance Mechanism: Prototype of Centrifugal Vacuum Device